微电子化学技术基础 实验报告及答案 (刘玉岭 李薇薇)

实验报告配套教材：

书名：微电子化学技术基础
作者：刘玉岭 李薇薇 周建伟
出版社：化学工业出版社

实验报告概述：

　　　　　　　　　　　光刻工艺 工艺流程 本实验的主要目的就是应用平面工艺制造二极管。具体工艺流程如下: